沁源,因沁河之源而得名,古為冀州之域,春秋為晉之地,戰國前期屬韓后屬趙,秦屬上黨郡,西漢置谷遠縣,王莽時,改谷遠為谷近縣,三國為魏之地,晉廢縣,屬上黨郡。?
北魏孝莊帝(元子攸)建義元年,(公年528年)始置沁源縣,縣治在今城南一里許。同年,于沁源縣置義寧郡,領團城、義寧、安澤、沁源等縣。北齊,北周時,沿用不改。?
隋文帝(楊堅)開皇十六年(公元596年)治沁州,州治在沁源縣城南。同年,沁源北部始置綿上縣,屬西河郡。隋煬帝(楊廣)大業初,沁源屬上黨郡;隋恭帝(楊侑)義寧元年,仍復義寧郡。?
唐高祖武德初,復沁州治。同年,又在沁源西部,分設招遠縣,沁州,三年廢,招遠縣仍歸沁源縣。唐玄宗(李隆基)天寶元年(公年742年)改沁州為陽城郡。領沁源、和川、綿上。唐肅宗(李享)乾元初復稱沁州,故治在沁源縣。?
北宋時屬威勝軍,宋太宗(趙炅即匡義,亦名光義)太平興國二年(公元977年)威勝軍在銅鞮亂柳石圍中,即今沁縣城置沁州,從此,沁州便從沁源遷到沁縣,沁源縣仍屬沁州,金初沁源亦屬沁州;金宣宗(完顏王旬)元光二年(公元1223年)始治谷州,谷州治在沁源。?
元世祖(忽必烈)至元年間廢谷,屬沁州。明清時,仍屬沁州,州治在今沁縣城。?
民國三年(即公元1914年)。沁源屬冀寧道,民國十九年(公元1930年)廢道,屬山西省。?
1942年10月,為適應戰爭需要,在朱鶴嶺以北地區分設綿上縣,綿上縣政府駐東村、赤石橋、水峪等地。1945年4月11日,沁源和綿上又合并為沁源縣,縣政府駐郭道鎮。太岳區的岳北專署駐沁源城關。1949年太行區的長治專署和太岳區的岳北專署,合并為長治專署后,沁源縣政府,從郭道遷到城關。?
1958年沁縣和襄垣合并不久,又和沁源三縣合并為沁州,縣政府駐沁縣城。1960年沁縣、沁源、襄垣又按原地分為三縣,沁源縣政府從沁縣遷回城關鎮(現改名為沁河鎮),至今。?