沁源，因沁河之源而得名，古為冀州之域，春秋為晉之地，戰國前期屬韓后屬趙，秦屬上黨郡，西漢置谷遠縣，王莽時，改谷遠為谷近縣，三國為魏之地，晉廢縣，屬上黨郡。?
北魏孝莊帝（元子攸）建義元年，（公年528年）始置沁源縣，縣治在今城南一里許。同年，于沁源縣置義寧郡，領團城、義寧、安澤、沁源等縣。北齊，北周時，沿用不改。?
隋文帝（楊堅）開皇十六年（公元596年）治沁州，州治在沁源縣城南。同年，沁源北部始置綿上縣，屬西河郡。隋煬帝（楊廣）大業初，沁源屬上黨郡；隋恭帝（楊侑）義寧元年，仍復義寧郡。?
唐高祖武德初，復沁州治。同年，又在沁源西部，分設招遠縣，沁州，三年廢，招遠縣仍歸沁源縣。唐玄宗（李隆基）天寶元年（公年742年）改沁州為陽城郡。領沁源、和川、綿上。唐肅宗（李享）乾元初復稱沁州，故治在沁源縣。?
北宋時屬威勝軍，宋太宗（趙炅即匡義，亦名光義）太平興國二年（公元977年）威勝軍在銅鞮亂柳石圍中，即今沁縣城置沁州，從此，沁州便從沁源遷到沁縣，沁源縣仍屬沁州，金初沁源亦屬沁州；金宣宗（完顏王旬）元光二年（公元1223年）始治谷州，谷州治在沁源。?
元世祖（忽必烈）至元年間廢谷，屬沁州。明清時，仍屬沁州，州治在今沁縣城。?
民國三年（即公元1914年）。沁源屬冀寧道，民國十九年（公元1930年）廢道，屬山西省。?
1942年10月，為適應戰爭需要，在朱鶴嶺以北地區分設綿上縣，綿上縣政府駐東村、赤石橋、水峪等地。1945年4月11日，沁源和綿上又合并為沁源縣，縣政府駐郭道鎮。太岳區的岳北專署駐沁源城關。1949年太行區的長治專署和太岳區的岳北專署，合并為長治專署后，沁源縣政府，從郭道遷到城關。?
1958年沁縣和襄垣合并不久，又和沁源三縣合并為沁州，縣政府駐沁縣城。1960年沁縣、沁源、襄垣又按原地分為三縣，沁源縣政府從沁縣遷回城關鎮（現改名為沁河鎮），至今。?
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